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          TOPCon高效電池管式PECVD設備

          核心技術

          非晶硅在高溫晶化時脫膜抑制技術

          低粉塵工藝技術

          沉積薄膜過程電場阻抗系統穩態控制技術

          大面積均勻性控制技術

          等離子體脈沖氧化法制備超薄氧化硅技術

          “氧化硅+原位摻雜非晶硅”二合一工藝技術

          相關描述

          金辰股份與中科院寧波材料所展開戰略合作,探索出用管式PECVD裝備實現TOPCon光伏電池核心材料“超薄氧化硅+原位摻雜非晶硅”的制備,同時在抑制非晶硅爆膜、防止電場導通、實現高效電池全工藝集成等關鍵技術方面取得了重大突破,推出了簡化工藝流程解決方案。

          等離子體增強型化學氣象沉積(PECVD)技術

          依靠等離子電場硅烷解離,沉膜速率快,摻雜效率高

          定向沉積,繞鍍輕微,成品率高

          低溫工藝,腐蝕性附產物少,耗材成本低

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